C飛測（688361）研究報告：國內半導體量檢測設備領先企業，打造中國KLA.pdf

C飛測（688361）研究報告：國內半導體量檢測設備領先企業，打造中國KLA。半導體量/檢測設備國產化率極低，公司有望深度受益于國產替 代。量/檢測設備是集成電路制造中保證良品率的關鍵，貫穿于 整個生產過程，隨著工藝結構復雜化其重要性凸顯。全球 2021 年市場規模約 100 億美元，競爭格局集中，美國科磊 KLA、美國 應用材料、日本日立位居前三，KLA（市占率 54%）一家獨大。中 國大陸市場進口依賴度高，2021 年國產化率僅 3%，國內主要有 中科飛測、上海精測、上海睿勵（中微公司持股）及東方晶源等 公司持續突破。目前國內企業在圖形/無圖形晶圓檢測、膜厚/關 鍵尺寸/套刻量測等多個細分領域持續發力突破，國內廠商市占 率有望進入成長快車道，深度受益國產替代。

中科飛測成立于 2014 年，目前在半導體量/檢測設備收入體量上 為國內龍頭，高研發支出保證公司持續創新能力。公司 22 年實現 營收 5.09 億元，同比+41.2%；歸母凈利潤 0.12 億元，同比-78.0%。 下游客戶包含中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、通富微 電等國內主流制造及封裝廠。公司 2022 年研發費用率高達 40.4%， 主要產品包括無圖形晶圓缺陷檢測、圖形晶圓缺陷檢測、三維形貌 量測、薄膜膜厚量測等產品，已應用于國內 28nm 及以上制程的集 成電路制造產線，同時正在積極研發納米圖形晶圓缺陷檢測、晶圓 金屬薄膜量測等設備，我們看好公司在產品型號橫向擴張的同時， 不斷突破制程節點。公司 IPO 發行 8000 萬股，發行價 23.60 元/ 股，募集總金額 18.9 億，用于高端半導體質量控制設備產業化項 目/研發中心升級建設及補充流動資金。

2022 年末公司合同負債 4.8 億，存貨中發出商品 4.3 億，在手訂 單充足 。 公司 21/22 年合同負債 為 1.6/4.8 億 元，同比 +384%/+217%，發出商品為 2.4/4.3 億元，同比+425%/+76%，在手 訂單充沛且銷售強勁，快速成長動力足。