中科儀公司研究報告：半導體干式真空泵國產替代龍頭，募投產能釋放與技術迭代共驅成長.pdf

中科儀公司研究報告：半導體干式真空泵國產替代龍頭，募投產能釋放與技術迭代共驅成長。中科儀：國內干式真空泵集成電路領域出貨量最大，唯一實現先進制程 批量應用的國產企業。中科儀作為中國科學院下屬企業，長期專注于潔 凈與超高真空技術研發，是國內領先的半導體核心部件及真空科學儀器 供應商。公司干式真空泵已滿足 14nm 邏輯芯片及 128 層以上 3D NAND 工藝要求，在國內主流晶圓廠批量應用，出貨量居國產廠商首位，并進 入臺積電、SK 海力士等知名廠商供應鏈；同時為北京正負電子對撞機、 上海光源等 11 項國家重大科技基礎設施提供關鍵真空組件，在科研級 MBE 設備領域保持領先地位。公司產品廣泛應用于半導體、光伏、科研 等領域，具備自主可控的全鏈條制造能力。

國家戰略支持疊加自主化加速，半導體零部件及科學儀器領域前景廣 闊。在半導體產業自主化與清潔能源轉型驅動下，干式真空泵作為集成 電路及光伏制造核心設備，迎來國產替代與市場擴容雙重機遇。1）集 成電路領域：2024 年全球市場規模達 125.74 億元，中國大陸達 52.11 億 元，受益于先進制程擴產與國產設備導入。2）光伏領域：2024 年中國 市場規模約 47.0-57.2 億元，晶硅電池生產中晶體生長與電池片制造工 序形成穩定需求，受新增裝機高增長及技術迭代帶動設備更新。

自主核心技術與先進制程批量應用優勢，受益半導體設備國產替代紅 利。1）多領域產品矩陣：形成了以高端干式真空泵為核心、多品類協 同的產品體系，其中，干式真空泵產品主要為羅茨干泵，廣泛支持國內 外主流設備廠商機臺；真空薄膜儀器設備產品主要包括 PVD、CVD 設 備，主要面向高等院校、科研院所等科研機構進行薄膜材料的研究與小 批量制備；并向高能物理大科學裝置提供前端區、光束線、波蕩器、真 空互聯及傳輸系統等關鍵部件。2）行業領先地位：牽頭或參與編制 13 項國家、行業與團體標準，2024 年公司在集成電路領域干式真空泵收入 達 6.63 億元，測算國內市場占有率約 12.72%，為國產廠商中最高。產 品已大批量導入國內知名半導體設備廠商及光伏廠商，經過長期產線運 行驗證，具備高可靠性與工藝適配能力。3）募投項目賦能成長：募投 項目建成后將形成年產 2 萬臺干式真空泵的生產能力，實現物流移動 50%自動化，90%以上加工產線的自動化及智能化；并建設高端半導體 設備生產、研發及配套設施，布局集成泵組系統與大尺寸分子束外延設 備，豐富產品矩陣。