京儀裝備主要產品、 股權結構、研發投入及收入分析

本土半導體工藝輔助設備龍頭，業績持續快速增長。

1.引領Chiller&L/S設備進口替代，供貨大陸先進制程客戶

京儀裝備成立于2016年，是國內領先的半導體工藝輔助設備公司，專注于溫控設備（Chiller）、工藝廢氣處理設備（Local Scrubber）和晶圓傳片設備（Sorter）三大類產品，同時還提供設備零部件及維修服務。北京自動化院為京儀集團下屬研究院， 在溫度控制、機械手運功軌跡控制方面已有較強技術積累，公司在此基礎上成立并快速發展。成立僅一年后，公司半導體溫控設備 、工藝廢氣處理設備分別通過中芯國際、長江存儲、大陸英特爾產線驗證；2021年公司Chiller實現超低溫-70°C溫控，L/S處理量 上限提升至1600slm，產品不斷迭代升級，全面適配LAM、TEL、中微公司、北方華創等設備的工藝需求，引領Chiller&L/S設備 進口替代。

作為工藝輔助設備，公司三大類產品廣泛應用于晶圓制造各環節， 而且設備性能已充分滿足國內先進制程客戶量產需求。 1）半導體溫控設備（Chiller）：即對反應腔溫度、壓力和流量進行 精密控制，用于刻蝕、沉積、擴散等環節。公司競爭力較強，可滿足 14nm邏輯芯片和192層 3D NAND存儲芯片等先進制程量產需求， 2022年公司Chiller國內市占率為35.7%，連續三年位居第一。此外， 公司創造性通過兩級復疊技術實現-70°C超低溫溫控，國際領先，并 朝著更低溫控區間進行研發。2）半導體工藝廢氣處理設備（Local Scrubber）：即對各環節產生的工業廢氣進行無害化處理，主要用 于刻蝕、沉積等環節。目前公司產品可應用于28nm以上邏輯芯片量 產，以及192層3D NAND存儲芯片的先進制程產線。公司競爭力持續 提升，2022年公司L/S設備國內市占率為15.6%，排名第四，與第一 名份額僅差3pct。3）晶圓傳片設備（Sorter）：貫穿整個制造流程 ，公司已覆蓋微晶背接觸式、真空式和夾持式三種主流技術路線，根 據公司招股書披露，目前WPH和重復精度指標對標國外產品，可滿足 先進制程產線需求。目前市場主要由國外廠商主導，隨著公司第三代 設備實現量產，收入規模及市場占有率有望迎來0-1突破。

2.核心人員激勵充分，高管具備晶圓廠工作背景

實控人為北京市國資委，公司具備深厚的區域性資源優勢。截至2024Q3，北京市國資委通過北控集團、京儀集團持有公司 28.13%股份，為公司實際控制人。集成電路產業鏈作為北京市高精尖產業發展重點，高校科研資源豐富&半導體產業基金密集， 公司背靠北京國資委，具備深厚的區域性資源優勢和資本實力。

我們注意到公司設立安徽北自作為員工持股平臺，持股份額高達17.2%（見上頁），是公司第二大股東，持股員工包括副董事長 趙力行、總經理于浩，以及芮守禎、楊春水、呂維迪等核心技術骨干。此外，持股員工范圍不止局限于管理層及產品研發部門，采 購部、銷售部及生產制造部人員均有不同比例持股，將公司利益與核心員工緊密捆綁，利于公司長期發展。

公司持續加大研發支出，研發費用率高于國外同行。1）半導體行業作為典型的技術密集型行業，技術迭代快，持續的研發投入 至關重要。2019年公司研發費用0.21億元，2023年達到0.61億元，期間CAGR高達30%，2024Q1-Q3研發費用同比+65.39%， 投入力度進一步加大，推測與新品的布局有一定關系。2）研發費用率方面，公司研發費用率低于前道工藝設備公司，主要系產品 相對聚焦，研發項目方向集中，而且已經取得一定的領先地位，研發效率高；此外，公司側重算法、控制系統的優化，研發投入 不以原材料為主，研發成果轉化率也高。相比海外同行，公司研發投入強度明顯高于平均水平，有助于公司持續實現技術突破， 不斷縮小與海外公司的技術差距。

3.收入規模快速擴張，盈利水平持續提升

受益于Chiller&L/S設備快速放量，公司收入規模快速擴張。1）2019年公司營收為2.31億元，2023年達到7.42億元，期間 CAGR達到33.9%，實現快速增長。2024Q1-Q3營業收入7.72億元，同比+27.84%，延續較好增長勢頭。2）分產品來看，2023年 Chiller和L/S分別實現營收4.61億元、2.16億元，2019-2023年CAGR分別達到32.4%和56.7%，是公司收入端持續快速增長的主要 驅動力。2020-2021年公司L/S設備放量明顯，根據公司招股書披露，主要系公司自研Kylin系列產品通過長江存儲產線驗證，大連 英特爾、長江存儲批量下單。

利潤端，2020-2023年公司歸母凈利潤CAGR高達111%，高于同期收入端增速，盈利能力持續提升。2019年公司仍處于虧損狀 態，2020年扭虧為盈，利潤端正式進入高速增長階段，2023年公司歸母凈利潤達到1.19億元，2024Q1-3達到1.30億元，同比 +11.14%。進一步分析發現，2019年以來公司銷售凈利率和扣非銷售凈利率均呈現明顯上行趨勢，2024Q1-3分別達到16.80%和 13.28%，相較2020年分別+14.98pct和13.01pct，盈利能力大幅提升。