盛劍科技經營看點在哪？

聚焦半導體，產能利用率與良率驅動行業需求。

聚焦半導體行業，新增訂單額快速增長。隨著公司技術研發不斷推進和產品體系不斷 完善，行業關鍵客戶及訂單實現新突破。23 全年公司新簽訂單總額達 27.9 億元，同 比+76%；其中在集成電路板塊新簽訂單實現快速增長、新簽訂單 20.5 億元，同比+109%。

突破國內重點客戶。公司的主要下游行業為集成電路、半導體顯示等半導體產業領域 以及新能源領域的業內領軍企業，與京東方、華星光電、天馬微電子、維信諾、中電 熊貓、信利光電、惠科光電、中電系統等業內領軍企業保持長期合作關系。

抓住下游 CAPEX 向上機遇。傳統行業 CAPEX 接近尾聲或已入去產能周期，半導體行業 CAPEX 迎高峰。行業內可比公司如同興環保、雪浪環境、青達環保、仕凈科技分別在 鋼鐵領域、垃圾焚燒領域、火電領域、光伏領域成為行業內龍頭，解決煙氣治理問題。 從下游行業增速看，鋼鐵已長期處于去產能階段；垃圾焚燒作為替代填埋的更環保選 項、在主要城鎮覆蓋率已達較高水平。火電行業受新型電力系統建設影響，在“十三 五”去產能后近兩年重新出現 CAPEX 高峰。相比之下，集成電路、半導體顯示等行業 CAPEX 處于上行階段，光伏行業 CAPEX 過去兩年快速增長、今年有所放緩。

行業 CAPEX 情況直接影響可比公司利潤體量及盈利能力。行業缺乏持續增長動力，帶 來了同興環保、雪浪環境兩家可比公司的收入/利潤體量下滑，行業內卷現象加劇帶 來毛利率水平下降。往后看，相關企業主業修復依靠環保政策升級加碼，同時積極開 展 CCUS 等第二增長曲線自救。

如前所述半導體行業正步入 CAPEX 高峰期，同時我們更看好該行業由先進制程/良率 驅動下的“自下而上”成長。盛劍的主要下游為光電顯示、集成電路、光伏、PCB 等 半導體行業。對半導體工廠而言，工藝廢氣治理系統及設備是其生產工藝不可分割的 組成部分，工藝廢氣需要與生產工藝同步進行收集、治理和排放，其安全穩定性直接 關系到產能利用率、產品良率。

影響產能利用率：半導體生產工藝是高度自動化的連續工序，大部分環節對工藝設備 的排氣壓力存在較高要求。當工藝廢氣治理系統發生故障，未能同步對工藝廢氣進行 收集、治理和排放時，會導致連續工序中斷，直接影響客戶產線的穩定運行，從而影 響產能利用率。

影響產品良率：半導體生產工藝精密度極高，對生產環境的潔凈度要求嚴格，生產過程均在高等級潔凈室內進行。工藝廢氣自工藝設備進入工藝排氣管道后，如因工藝廢 氣治理系統故障導致負壓不穩定，或者工藝排氣管道泄漏，致使潔凈室內空氣環境改 變，可能導致產品良率下降乃至報廢。

與可比公司相比，半導體行業煙氣治理毛利率水平相對更穩定，近兩年超過傳統非電 行業。

以 L/S 設備為首，拓展更高附加值的裝備業務。公司在處理半導體制程產生的組分復 雜、特性不一的工藝廢氣時，難點在于先分析工藝廢氣特性并根據該等氣體的特性， 在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方案，在處理一些包括劇毒、 自燃、易爆等特殊廢氣時，則要綜合應用中央治理和源頭控制技術，即先在生產區域 配置適合氣體特性的就地處理設備進行預處理，之后再排入中央治理系統進行集中處 理。隨著江蘇盛劍研發制造基地建成投產，公司 L/S 單體治理設備研制成功并取得訂 單，標志著公司業務從中央治理端拓展至源頭控制端，具備了半導體工藝廢氣全面系 統解決能力。

設備毛利率高于系統；江蘇盛劍廠房建成、設備制造能力大幅提升。不同于系統類產 品，設備類產品隨著更先進的制成工藝出現，需要不斷迭代升級，具有更高的技術壁 壘。因此，設備類業務毛利率高出系統類業務約 10%。22 年受下游需求波動影響產銷 率有所下降，23 年回升至 87.4%。

在機型開發升級、制程工藝突破、應用領域延伸等方面，公司不斷提升半導體廢氣處 理設備 L/S 競爭優勢。完成等離子+水洗雙腔機型的研發驗證，并取得集成電路頭部 客戶 Etch 制程的測試訂單。通過技術創新，將等離子+水洗機型應用于控制 NOx，可 以使 NOx 的排放能力控制在 50mg/m³內；在國際高難度制程的常壓 EPI 領域，完成國 內首臺套水洗+燃燒+水洗機型設備廠內性能驗證，獲得 SEMI 認證，并斬獲某集成電 路頭部客戶的測試訂單；積極探索在新能源領域的應用，針對 TOPCon 電池粉塵堵塞 PM 周期短等痛點，結合 PE-Poly 工藝高 SiH4 和 H2 的特點，定向研發的 PW3000 機型 能夠顯著提升客戶的生產稼動率，并取得訂單；PW3000 機型在國內龍頭光伏企業 HJT 電池相關研發線開展測試，性能反饋優異。

在半導體核心零部件業務方面，公司完成了真空設備 2 款機型的研發測試，其中 1 款機型在新能源領域某頭部客戶 PE-Poly 制程驗證測試，同時實現集成電路領域維保 服務訂單突破。

21 年募投項目重點投于附屬裝備制造。21 年公司 IPO 募資 55,958.87 萬元用于新增 制造產能、研發中心和運營中心的建設。其中 12,528.27 萬元用于由江蘇盛劍實施的 環保裝備智能制造項目，重點建設附屬裝備產能，主要產品包括半導體工藝設備 PFCS 污染物處理裝置（L/S）、半導體潔凈室 EHS 處理裝置（LOC-VOC）、VOC 超凈排放處理 裝置、工藝排氣管道等。

進軍濕電子化學品，發揮客戶協同優勢。2017 年，公司設立子公司北京盛科達，專注于濕電子化學品供應與回收再生系統服 務，進一步挖掘半導體行業客戶需求，通過產品升級迭代進一步鞏固行業競爭優勢， 實現產業價值鏈縱向延伸。2018 年起，公司前期在該領域的布局初見成效，陸續參 與、承接了京東方 B11、京東方 B17、合肥奕斯偉和深南電路等項目。

濕電子化學品供應與回收再生是兩個相關聯的化學品系統。前者主要作用是將化學品 從化學品原材料供應商提供的盛裝容器中，輸送到使用化學品的工藝設備入口，并根 據需要進行加壓、純化、多組分調配及計量等；后者主要作用是將廢化學品收集后， 根據需要進行外運處置或者在廠內就行提純再生，調配單組分、添加劑達到原液標準 后循環使用。

在此基礎上，引進光刻膠剝離液和蝕刻液技術，進行相關電子材料的研發、制備工作。 主要規劃產品聚焦于剝離液、蝕刻液、清洗液等。下游應用領域包括集成電路、半導 體顯示等，主要用于顯影、蝕刻、清洗等制造工藝。