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華特氣體（688268）研究報告：特氣領軍者，品類拓寬產能擴充驅動快速成長。本土晶圓產能供需缺口較大，半導體擴產熱潮推動特氣高增。1）特種 氣體為晶圓制造第二大耗材，廣泛應用于電子半導體領域，氣體占晶 圓制造材料成本 13%為第二大耗材，占 IC 材料總成本 5%-6%，特氣下 游超四成應用于電子半導體領域。2）半導體擴產熱潮推動特氣高增。 全球晶圓廠仍處于擴產周期。國內各大晶圓廠仍處于擴產周期，在 2025 年前仍在進行產線擴建。根據我們的統計，至 2025 年底，頭部晶 圓廠的產能距 2021 年新增 296.9 萬片/月 (約當 8 英寸)。2021-2025 年大 陸晶圓產能復合增速 16.6%。晶圓廠擴產明確，拉動上游電子特氣需 求不斷增長。

關注供應鏈安全，電子特氣國產率僅 15%，自主可控強邏輯。二十大 報告強調產業鏈關鍵環節自主可控，關注核心技術攻堅&材料國產化 替代，電子特氣國產化率僅 15%，國產替代迫切。我國特氣企業不 斷強化核心技術、提升產品品質、擴產氣體品類，逐步打破國外廠 商壟斷，國產替代浪潮涌起。

我國特種氣體領航者，品類&技術優勢顯著。積極向全品類氣體供應 商進軍，已成為國內經營氣體品種最多的企業之一，現有產品多達 240 余種。公司積極助力國產化進程打破外資壟斷，實現近 50 種產品國產 替代。國內首家打破高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純八氟丙烷、 高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、以及光刻氣等產品進 口制約的氣體公司。布局前端產業鏈純化環節，打造閉環生產模式。

公司產品通過多家國際龍頭企業認證，公司技術能力受到廣泛認可。 公司作為國內唯一一家同時獲得荷蘭 ASML 和日本 GIGAPHOTON 株 式會社認證的氣體企業，公司準分子激光氣體產品于 2023 年 1 月通過 Coherent德國公司 ExciStar激光器的 193nm測試。公司已成功實現了對 國內 8 寸、12 寸集成電路制造廠商超過 90%的客戶覆蓋率。不少于 15 個產品已經批量供應 14 納米先進工藝，不少于 10 個產品供應到 7 納 米先進工藝，2 個產品進入到 5 納米先進工藝。解決了長江存儲、中芯 國際、臺積電（中國）等客戶多種氣體材料的進口制約，并進入了英 特爾、美光科技、德州儀器、臺積電（中國臺灣）、 SK 海力士、英飛 凌（德國）、鎧俠（KOXIA，日本）等全球領先半導體企業供應鏈體 系。在夯實半導體下游客戶同時，向食品、醫療等下游拓展。