中科儀干式真空泵在集成電路領域的國產替代進展及市場地位如何？

提問時間：2026/06/15
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提問者：匿名用戶
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請分析中科儀在干式真空泵領域的核心技術優勢，以及其在集成電路先進制程中的國產替代進展和市場地位。

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中科儀
干式真空泵
集成電路

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最佳答案由匿名用戶編輯于2026/06/15 14:41

中科儀在干式真空泵領域具有顯著的技術優勢和國產替代進展。公司是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，也是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業。公司的研發創新打破了歐美及日本企業的長期壟斷，已在中國各領先晶圓制造企業實現大批量應用，廣泛支持國內主流晶圓制造企業，以及客戶A等國內主流集成電路設備制造企業，并已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現小批量出貨。此外，公司干式真空泵產品也可廣泛應用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導體的制備，并已實現批量交付。在光伏領域，公司同樣具備較強的市場競爭力，產品廣泛應用于光伏電池片制造等泛半導體領域。總體而言，中科儀在干式真空泵領域具有較強的技術實力和市場份額，有望在國產替代進程中持續受益。

參考報告

中科儀-920186-北交所首次覆蓋報告：中科院真空設備龍頭，打破海外壟斷，半導體+光伏雙驅迎來高增長.pdf

中科儀（920186.BJ）是一家專注于干式真空泵和真空科學儀器設備研發、生產、銷售及相關技術服務的企業，擁有中科院背景，是真空設備領域的領軍者。公司主營業務包括面向半導體及泛半導體領域用于晶圓制造的干式真空泵，以及面向國家重大科技基礎設施和科研領域的真空科學儀器設備。公司擁有三個國家級研發平臺，截至2025年12月31日，已獲得授權的發明專利103項、實用新型專利20項，軟件著作權登記37項。在干式真空泵領域，公司是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，也是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業。公司的研發創新打破了歐美及...

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