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      HBM行業深度報告:工藝篇,設備新機遇.pdf

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      • 時間:2024/12/31
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      HBM行業深度報告:工藝篇,設備新機遇。HBM市場前景廣闊,地緣催化下國內有望加速擴產。HBM具備高帶寬、低延遲、低功耗等優勢,受益AI應用快速發展,2024 年全球HBM市場規模預計將達169.14億美元,同比增長約288.29%。目前全球HBM市場被SK海力士、三星、美光三家企業 壟斷,2023年市占率分別為47.5%、47.5%和5%,三大供應商均積極擴產,2023年底SK海力士、三星、美光HBM總產能 (含TSV)為4.5、4.5、0.3萬片/月,2024年底預計增至12-12.5、13、2萬片/月。國內HBM產業處于早期階段,國內供應商 現處于HBM2的研發和產業化階段,2024年12月2日美國BIS宣布新規,將HBM納入嚴格管控,國內HBM有望加速擴產。

      HBM工藝流程復雜,TSV、堆疊是關鍵環節。HBM制造工藝較為復雜,我們從TSV、Bump、減薄、堆疊/填充、測試等五大 環節進行分析,(1)TSV是HBM核心工序,成本占比最高,隨著TSV數量增加,單一TSV良率面臨更高要求;(2)Bump 工藝持續微型化,電鍍工藝適用于小節距凸點;(3)TBDB能夠提高產品良率和性能,氣泡排除、翹曲度控制是技術要點, CMP應用廣泛、涉及多類耗材;(4)TCB目前廣泛應用于HBM產品,混合鍵合實現無凸點互連、工藝條件較高,MR-MUF 技術具備效率、良率和散熱優勢;(5)HBM測試包括晶圓測試和KGSD測試,存在諸多挑戰。

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